目前，台积电和三星的5nm制程已经量产。前者的代工产品包括Apple A14，Apple M1，华为麒麟9000等，而后者的代工产品包括三星自己的Exynos1080和传闻中的高通Snapdragon 875等。实际上，从7nm开始，台积电和三星就开始引入EUV光刻技术，但是该工艺中的层数相对较少。根据ASML的说法，迭代到5nm之后，EUV层的数量达到14层，包括但不限于接触，过孔和关键金属层之类的过程。将来，3nm和2nm将会更多地依赖EUV。作为目前唯一能够生产EUV光刻机的荷兰ASML，即使单价达到1.2亿欧元（约合9.4亿元人民币），它也自然成为台积电和三星的热销蛋糕。根据Digitimes的最新报告，台积电已向ASML订购了至少13台EUV光刻机，将于明年生产。简单估算一下，支出就超过了120亿元人民币。应当理解，EUV光刻机不能用金钱购买，因为ASML的年生产能力非常有限。 2019年全年仅出货26台，今年上半年出货13台。运送了23个单位。此外，ASML计划在明年年中交付最新一代的EUV光刻机TWINSCANNXE：3600D。生产效率提高了18％，机器匹配和套准精度提高到1.1nm。如果没有意外，台积电应该是第一批客户。